— 產(chǎn)品分類 —
1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品用途：產(chǎn)品專業(yè)性：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
關(guān)鍵詞：
銷售熱線：
- 產(chǎn)品描述
- 技術(shù)參數(shù)
- 聯(lián)系我們
-
- 商品名稱: 1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
- 商品編號: 1034429608717279232
產(chǎn)品用途：產(chǎn)品專業(yè)性：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
銷售熱線：15122725930
產(chǎn)品用途：
產(chǎn)品專業(yè)性：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成：
PECVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。
-
詳細(xì)技術(shù)方案請聯(lián)系客服人員！
銷售熱線：15122725930（微信）
郵 箱： [email protected]
網(wǎng) 址： www.fzpg.com.cn
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品留言
電話：15122725930（微信）
郵箱：[email protected]
網(wǎng)址：www.fzpg.com.cn
地址：天津北辰科技園區(qū)雙川道11號
瀏覽手機(jī)官網(wǎng)
微信公眾號